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D-500 臺(tái)階儀

應(yīng)用范圍：D-500臺(tái)階儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D輪廓掃描，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。設(shè)備提供最高1200μm垂直量測(cè)距離，亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應(yīng)用范圍，包括從納米級(jí)到毫米級(jí)的臺(tái)階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應(yīng)力等，使其能夠服務(wù)于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中的各個(gè)行業(yè)。

產(chǎn)品型號(hào)：D-500

上架時(shí)間：2024-04-29

版本號(hào)：V1.0

A^-A⁺

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D-500臺(tái)階儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D輪廓掃描，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。設(shè)備提供最高1200μm垂直量測(cè)距離，亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應(yīng)用范圍，包括從納米級(jí)到毫米級(jí)的臺(tái)階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應(yīng)力等，使其能夠服務(wù)于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中的各個(gè)行業(yè)。

功能特點(diǎn)

臺(tái)階高度重復(fù)性：亞埃分辨率及光學(xué)杠桿傳感器具有低重量，低噪聲的特點(diǎn)。在1微米臺(tái)階的高度重復(fù)性為5埃；
直觀的用戶界面，數(shù)據(jù)采集設(shè)置和系統(tǒng)硬件控制顯示在同一界面，直接保存原始數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)分析無需重新測(cè)量，操作便捷；
超高清鏡頭：500萬像素高分辨率彩色相機(jī)，4倍數(shù)碼變焦和增強(qiáng)的照明控制；
梯形校正：消除側(cè)視鏡頭畫面的扭曲失真；
圓弧修正：圓弧修正功能可自動(dòng)修正探針在測(cè)量過程中的圓弧運(yùn)動(dòng)，極大提高了側(cè)壁傾角和臺(tái)階寬度量測(cè)的精確度；
主要應(yīng)用領(lǐng)域：薄膜/厚膜臺(tái)階的精準(zhǔn)量測(cè)、蝕刻深度量測(cè)、柔性薄膜、表面粗糙度/平整度表征、薄膜2D應(yīng)力量測(cè)、表面起伏度/彎曲度和其他多種表面分析功能。

技術(shù)參數(shù)
單次量測(cè)長度	30mm
拼接量測(cè)長度	80mm
探針	最大垂直測(cè)量值：1200μm 針壓施力范圍：0.03-15mg 電腦控制施力
側(cè)視鏡頭	FOV：3760*3120μm 相機(jī)：500萬像素?cái)?shù)碼相機(jī) 支持4倍放大電腦校正視野
手動(dòng)樣品臺(tái)	尺寸：直徑140mm 水平移動(dòng)范圍：20mm*80mm
手動(dòng)水平調(diào)節(jié)	1微米標(biāo)樣 50微米標(biāo)樣
探針	5微米，夾角60°
電腦配置	Windows10，64位，4GB內(nèi)存，500GB硬盤配有16X倍速DVD±RW刻錄機(jī) 配有USB2.0（前后各一個(gè)）和RJ45接口配19寸LCD顯示器

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