應(yīng)用范圍: VTC-100PAH 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì),具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上,此方式操作簡便、樣件取放自如,吸盤真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無刷電機(jī),噪音低、振動小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡單,電機(jī)啟動快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。
產(chǎn)品型號:VTC-100PAH
設(shè)備尺寸:L250*W340*H320mm
重量:12kg
上架時(shí)間:2024-07-17
版本號:V1.0
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 設(shè)備供電 | DC24V 標(biāo)配適配器:IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A | ||
| 功率 | 300W | ||
| 操作界面 | 7 寸觸摸屏 | ||
| 速度范圍 | 設(shè)定:1500-20000rpm(遞增量為:100rpm 為單位) | ||
| 運(yùn)行程序 | 包含 16 個運(yùn)行階段 | ||
| 每段增加速率設(shè)置范圍 | 100 rpm/s—6000 rpm /s | ||
| 減速停車速率范圍 | 100 rpm/s—3000 rpm /s | ||
| 時(shí)間范圍 |
1-99s(設(shè)定速度范圍:1500 至 10000rpm); 1-60s(設(shè)定速度范圍:大于 10000 至 20000rpm) |
||
| 吸盤規(guī)格 | 2 英寸, 4 英寸 | ||
| 真空接口 | 快插接頭,采用φ8 PU 管連接 | ||
| 重量 | 12kg | ||
| 外形尺寸 | L250*W340*H320mm | ||
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