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MSK-PSP-CFE0505 制冷加熱閃蒸成膜儀

應(yīng)用范圍：MSK-PSP-CFE0505制冷加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì)，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點(diǎn)降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。模塊內(nèi)薄膜放置面為加熱制冷平臺，可滿足薄膜不同溫度的工藝需求。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該模塊適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號：MSK-PSP-CFE0505

設(shè)備尺寸：本體：約L420mm×W420mm×H350mm

真空泵：約L650mm×W210mm×H580mm（含過濾器高度）

重量：本體：約50kg

真空泵：約63kg

上架時(shí)間：2025-02-28

版本號：V1.0

A^-A⁺

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MSK-PSP-CFE0505制冷加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì)，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點(diǎn)降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。模塊內(nèi)薄膜放置面為加熱制冷平臺，可滿足薄膜不同溫度的工藝需求。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該模塊適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

功能特點(diǎn)

具備自動開蓋功能，自動化程度高；
內(nèi)置加熱制冷平臺，可滿足鈣鈦礦薄膜不同的溫度需求；
獨(dú)特的真空管道設(shè)計(jì)，抽取真空時(shí)氣流平穩(wěn)；
大功率真空泵，抽取真空速度快；
內(nèi)置真空壓力測量傳感器，可控制保壓時(shí)真空壓力；
上蓋配備玻璃視窗，方便觀察成膜過程。

技術(shù)參數(shù)
電源	單相AC220V±10%，頻率50Hz，功率約1.5KW
氣源	0.5-0.8MPa壓縮空氣
適配尺寸	玻璃片尺寸50mm×50mm
平臺溫度	10℃-60℃
抽氣速率	最快抽氣速率：5秒從常壓到10pa（空載或良好的干燥環(huán)境下）
漏率	≤5x10??Pa.m3/s
極限壓力	真空腔2Pa；真空泵≤5x10?1Pa
設(shè)備尺寸	本體：約L420mm×W420mm×H350mm 真空泵：約L650mm×W210mm×H580mm（含過濾器高度）
設(shè)備重量	本體：約50kg 真空泵：約63kg

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