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MSK-PSE-GEC1515 蒸鍍手套箱一體機(jī)

應(yīng)用范圍：六源鈣鈦礦真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)配備3組有機(jī)束源式蒸發(fā)源爐+3組舟式蒸發(fā)源，可蒸鍍多種金屬或有機(jī)材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料，與專用雙節(jié)單面雙工位手套箱對(duì)接組成一體機(jī)后可在手套箱中操作。設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等。

產(chǎn)品型號(hào)：MSK-PSE-GEC1515

整機(jī)尺寸：約L2410*850*H1860mm

重量：約920kg

上架時(shí)間：2024-04-12

版本號(hào)：V1.1

A^-A⁺

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六源鈣鈦礦真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)配備3組有機(jī)束源式蒸發(fā)源爐+3組舟式蒸發(fā)源，可蒸鍍多種金屬或有機(jī)材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料，與專用雙節(jié)單面雙工位手套箱對(duì)接組成一體機(jī)后可在手套箱中操作。設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等。

真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)功能特點(diǎn)

真空腔室：采用304不銹鋼腔室，設(shè)計(jì)有前門雙導(dǎo)軌和后門手動(dòng)鉸鏈結(jié)構(gòu)，前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。腔室內(nèi)外表面經(jīng)過(guò)拋光處理，并預(yù)留有照明、膜厚儀等設(shè)備接口；
真空系統(tǒng)：配備中科科儀脂潤(rùn)滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BSV-30機(jī)械泵，具有高效的抽氣能力，抽氣時(shí)間短且極限真空度高（優(yōu)于2.0×10^-5Pa），關(guān)機(jī)12小時(shí)后仍可保持良好真空性能；
基片臺(tái)：抽屜式結(jié)構(gòu)，可承載最大L150mm*W150mm樣品，配氣動(dòng)基片大擋板，支持旋轉(zhuǎn)和水冷功能，與蒸發(fā)源距離可調(diào)，手動(dòng)升降調(diào)節(jié)最大50mm可調(diào)；
蒸發(fā)源及電源：系統(tǒng)配置3組舟式蒸發(fā)源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發(fā)舟結(jié)構(gòu)，最高溫度可達(dá)1500℃；并配備2.4KW蒸發(fā)電源，支持恒流和恒壓兩種驅(qū)動(dòng)模式，可手動(dòng)/軟件控制也可通過(guò)膜厚儀PID控制調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率；
膜厚控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口INFICON公司的SQC-310膜厚儀，精度高達(dá)0.01埃，能自動(dòng)控制金屬蒸發(fā)電源輸出。同時(shí)，還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制系統(tǒng)，可以輸入速率和終厚，通過(guò)PID調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)電源輸出的控制；
多項(xiàng)安全保護(hù)功能疊加，安全系數(shù)大大增加；
機(jī)械泵前加裝分子篩，抽氣口加裝過(guò)濾網(wǎng)、百葉窗等防護(hù)件，氣路設(shè)計(jì)避免揚(yáng)塵；
所有樣品臺(tái)、源擋板，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)均采用磁流體密封，保證系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

手套箱功能特點(diǎn)

密閉循環(huán)，手套箱內(nèi)的惰性氣體經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)和凈化器密閉循環(huán)，不斷地除水除氧；
自動(dòng)控制再生，除水除氧材料可以再生，再生過(guò)程由程序控制；
自動(dòng)清洗，手套箱內(nèi)的氣氛置換通過(guò)自動(dòng)控制的清洗閥門完成；
箱體壓力控制，手套箱內(nèi)壓力通過(guò)PLC自動(dòng)；
真空泵自動(dòng)控制，真空泵可在系統(tǒng)需要時(shí)自動(dòng)開(kāi)啟；
手套箱用于操作蒸鍍儀的手套位高度比常規(guī)手套位高度高50mm，更方便對(duì)蒸鍍儀進(jìn)行操作；
側(cè)面預(yù)留有安裝釘，可用于固定蒸鍍儀的支架和觸摸屏；
大過(guò)渡艙補(bǔ)氣采用氣瓶補(bǔ)氣方式。

真空蒸鍍儀技術(shù)參數(shù)
電源	三相五線制AC380V±10%，頻率：50Hz，總功率約8KW
氣源	壓縮空氣：干燥、干凈、無(wú)水、無(wú)油的壓縮空氣，8mm塑料氣管，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPa）氮?dú)猓焊稍锏獨(dú)猓糜谠O(shè)備腔室破真空，8mm塑料氣管，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPa）
水源	流量15-20升/分鐘，15～25℃，進(jìn)水和出水壓差3～4公斤，進(jìn)水壓力3～5公斤，設(shè)備的進(jìn)水和出水口外徑1英寸，建議在設(shè)備的進(jìn)水口前安裝一個(gè)球閥，方便調(diào)節(jié)水壓和水流量
真空極限	真空極限優(yōu)于2.0×10^-5Pa 漏率：優(yōu)于5×10^－8Pa*L/S（國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)）關(guān)機(jī)12小時(shí)后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮?dú)猸h(huán)境）
抽速	抽氣時(shí)間：大氣壓～5*10^-4Pa，小于25min；（手套箱干燥氮?dú)猸h(huán)境）
真空室	304L不銹鋼方形真空室，內(nèi)部電拋光，立式前后開(kāi)門結(jié)構(gòu) 前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個(gè)（配防污玻璃），后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個(gè)（配防污玻璃）內(nèi)襯材質(zhì)：不銹鋼，多片結(jié)構(gòu)方便拆卸安裝左側(cè)：連接主閥門和分子泵，真空測(cè)量接口頂部：安裝旋轉(zhuǎn)水冷樣品臺(tái)、樣品臺(tái)大擋板、膜厚儀接口各1個(gè) 底板：安裝金屬蒸發(fā)電極、有機(jī)束源蒸發(fā)源爐各3組（預(yù)留一組膜厚儀探頭安裝口）真空室下方為一體式電控部分，配有萬(wàn)向輪和地腳，方便移動(dòng)
抽真空系統(tǒng)	分子泵+機(jī)械泵組合式真空系統(tǒng)，氣動(dòng)閥門分子泵：中科科儀脂潤(rùn)滑分子泵FF-200/1300口徑，抽速：1300L/S 機(jī)械泵：BSV30機(jī)械泵，抽速：9L/S 真空閥門：DN40mm 擋板閥2套；中科科儀氣動(dòng)主閥DN200 1套真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封，不常拆靜密封采用無(wú)氧銅密封
真空計(jì)	復(fù)合真空計(jì)（一低一高2個(gè)真空計(jì)）自動(dòng)控制切換低真空、高真空測(cè)量，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數(shù)輸入PLC，用于工藝控制
蒸發(fā)源	配備3組舟式蒸發(fā)源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式配備3組有機(jī)束源蒸發(fā)源，配套3組坩堝，加熱溫度：0～700℃，角度可調(diào)范圍：15° 配備3臺(tái)有機(jī)蒸發(fā)電源，配備實(shí)時(shí)顯示坩堝溫度日本導(dǎo)電溫控儀，可程序段控溫
工件架	配有自轉(zhuǎn)電動(dòng)工件盤，一次性放置最大150*150mm樣品，配有單轉(zhuǎn)軸空心磁流體密封，樣品旋轉(zhuǎn) 高扭矩電機(jī)和控制器，轉(zhuǎn)速0～30RPM可調(diào) 帶冷卻功能主控系統(tǒng)控制開(kāi)關(guān)，轉(zhuǎn)速檢測(cè)并顯示氣動(dòng)大擋板
系統(tǒng)自動(dòng)控制	西門子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制，可輸入速率及終厚，PID調(diào)節(jié)自動(dòng)控制蒸發(fā)電源輸出控制內(nèi)容：機(jī)械泵，分子泵，氣動(dòng)、電磁閥門、真空計(jì)等等；自動(dòng)抽真空、自動(dòng)鍍膜、自動(dòng)排氣等完整的互鎖保護(hù)（硬件、軟件互鎖），另外系統(tǒng)配備水流檢測(cè)報(bào)警裝置
安全保護(hù)	缺水欠壓檢測(cè)與保護(hù)、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù) 對(duì)泵、電極等缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施
真空室尺寸	約L400W400H450mm
外形尺寸	約L1000W780H2000mm
重量	約360kg

手套箱技術(shù)參數(shù)
電源		單相AC220V±10%，頻率：50Hz，總功率約1KW
工作環(huán)境		建議環(huán)境溫度25±3℃，濕度30~90RH，無(wú)振動(dòng)和電磁干擾
工位形式		單面出雙工位
箱體材質(zhì)		厚度3mm，SUS304不銹鋼
泄露率		≤0.005vol%/h
玻璃窗		傾斜設(shè)計(jì)， 10mm 安全鋼化玻璃，使用螺絲固定
手套口		直徑 220mm，防腐蝕處理，硬鋁合金材質(zhì)
手套		口徑 8 英寸，厚度 0.4 mm
機(jī)架		高約960mm，含腳輪，可轉(zhuǎn)移手套箱
擱物架		不銹鋼材料，可調(diào)節(jié)高度
照明		節(jié)能照明燈安裝在每塊玻璃窗前上方，貼有防反射材料，光線柔和，防視覺(jué)疲勞
接口		備用接口5個(gè)，KF40，含電源接口1個(gè)（220V，50Hz）
大過(guò)渡艙	艙體	SUS304不銹鋼，采用氣彈簧式開(kāi)門方式，通過(guò)法蘭連接
	尺寸	直徑 360mm, 長(zhǎng)度 600mm
	滑動(dòng)托盤	SUS304不銹鋼，約L595mm*W230 mm，可左右自由移動(dòng)延伸深度 361mm，可拆卸
	自動(dòng)抽補(bǔ)氣	單獨(dú)接氣瓶補(bǔ)氣
小過(guò)渡艙	艙體	SUS304不銹鋼，與手套箱安裝
	尺寸	直徑 320mm, 長(zhǎng)度 155mm（進(jìn)入箱體部分100mm）
	手動(dòng)控制系統(tǒng)	采用手動(dòng)閥門控制
控制系統(tǒng)	腳踏板	使用腳踏開(kāi)關(guān)，對(duì)箱壓進(jìn)行微調(diào)
控制系統(tǒng)	顯示屏	包括自診斷、斷電自啟動(dòng)特性，具備壓力控制和自適應(yīng)功能自動(dòng)控制、循環(huán)控制、密碼保護(hù)、真空室控制采用 LCD 顯示操作菜單可選：中文/英文通過(guò) PLC 觸摸式調(diào)節(jié)（抽空、凈化、再生）全過(guò)程無(wú)需人為監(jiān)控
循環(huán)凈化系統(tǒng)	凈化柱	凈化材料：銅催化劑 5kg，分子篩 5kg
	凈化能力	水、氧<1ppm 除水能力：2kg 除氧能力：80L
	循環(huán)風(fēng)機(jī)	流量 0-90m3/h，微處理器控制，經(jīng)過(guò)壓力測(cè)試的不銹鋼裝置
	凈化安全閥	高真空氣動(dòng)擋板閥
	過(guò)濾器	采用符合HEPA標(biāo)準(zhǔn)的0.3微米孔徑濾網(wǎng)的高效率過(guò)濾器
內(nèi)箱尺寸		右側(cè)大內(nèi)箱約L1000mmW780H900mm 左側(cè)小內(nèi)箱約L800mmW300H900mm
整機(jī)尺寸		約L2410850H1860mm
設(shè)備重量		約920kg

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