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PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機(jī)

應(yīng)用范圍：PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用，對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

產(chǎn)品型號(hào) ：PCE-500W

上架時(shí)間：2019-09-04

安裝尺寸：600mm L×600mm W×810mm H

A^-A⁺

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PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用，對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

性能指標(biāo)和基本配置
主要參數(shù)	● 射頻功率：0-500W ● 總功率：1.5KW ● 電源：AC220V 50/60Hz
射頻電源	● 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié) ● 頻率：13.56MHz ● 注：可與本公司工作人員聯(lián)系選購(gòu)1KW高功率等離子刻蝕清洗機(jī)
等離子腔體	● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體 ● 鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封 ● 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 ● 此設(shè)備完全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏
控制面板	● 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等 ● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量
真空泵（選配）	● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ● 極限真空度為80mTorr（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊）
通入氣體	● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） ● 不能使用易燃?xì)怏w及腐蝕性氣體。
可選	● 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來盛放基片 ● 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
產(chǎn)品尺寸	600mm L×600mm W×810mm H
相關(guān)應(yīng)用	● 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率 ● 對(duì)于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 -100W之間 ● 對(duì)于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在300-500W之間
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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