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PDC-36G 3英寸迷你型等離子清洗機(jī)

應(yīng)用范圍：PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下，去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進(jìn)行預(yù)處理，對生長具有顯著的作用。

產(chǎn)品型號：PDC-36G

上架時(shí)間：2019-09-03

安裝尺寸：353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

重量：（不含泵）8kg

A^-A⁺

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PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下，去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進(jìn)行預(yù)處理，對生長具有顯著的作用。

性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)	● 結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器 ● 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機(jī)污染物。 ● 在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好。 ● 鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣 ● 石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個石英舟，最大清洗一個2英寸的基片。 ● 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換 ● 使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級別；低成本、操作安全。
主要參數(shù)	● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W; ● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W; ● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W; ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz; ● 等離子直流電源： ● 輸入電壓：220V,50Hz
等離子腔室	● 直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟。 ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長。
真空計(jì)	設(shè)備標(biāo)配一個數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。
可選配件	● 您可以訂購額外的石英腔體，用于備用。 ● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面第一張圖片了解詳情） ● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片
真空泵和閥	此設(shè)備不包含真空泵。
工作氣體	● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體 ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體。
等離子清洗及刻蝕的方法
外形尺寸	353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
凈重	（不含泵）8kg
工作原理	等離子清洗機(jī)工作原理
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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