應(yīng)用范圍:PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
產(chǎn)品型號(hào) :PCE-6
上架時(shí)間 :2019-09-03
安裝尺寸:約L400*W300*H300mm(不含真空泵)
重量:約10.2kg(不含真空泵)
| 功能特點(diǎn) |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%,頻率:50Hz/60Hz,總功率約600W(含真空泵) |
| 輸出功率 | 7.2W、10.2W、29.6W |
| 射頻頻率 | 3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) |
| 等離子腔體 | 高純石英腔體,?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗 |
| 真空泵 | 標(biāo)配直連式雙旋真空泵,流量120L/min,功率約500W |
| 極限真空度 | 50mtorr |
| 通入氣體 | 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定) |
| 外形尺寸 | 約L400*W300*H300mm(不含真空泵) |
| 重量 | 約10.2kg(不含真空泵) |
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