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OTF-1200X-S2-50SL 1200℃小型雙爐體滑動管式爐

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實(shí)現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實(shí)現(xiàn)對樣品快速加熱，最大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-S2-50SL

上架時間：2019-07-22

安裝尺寸：爐體：340mm L x 330mm W x 400mm H

整體：1600mm L x 430mm W x 500mm H

重量：80Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實(shí)現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實(shí)現(xiàn)對樣品快速加熱，最大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃（參考值，詳情請點(diǎn)擊） ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ● 可選購石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度（圖3-4） ● 設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性（圖5-6） ● 爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動，爐子可以滑動700mm的距離圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6
基本參數(shù)	● 熱偶：K型熱偶 ● 爐建議升溫速率：≤10℃/min ● 溫度：1100℃ （1200℃＜1h） ● 電源：AC220，50Hz 最大3KW
高純石英管尺寸	尺寸：50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）
加熱區(qū)	每個加熱爐加熱區(qū)長度：200mm
密封法蘭	● 一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi) ● 兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上（圖一） ● 一個真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭（圖一） ● 可選：您可以選購kf25真空口法蘭（圖二） ● 您可以訂購法蘭支架（圖三）圖1 圖2 圖3
溫控系統(tǒng)	● 包含一款808P型溫度控制器 ● PID自動控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度：±1℃ ● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認(rèn)證 ● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
可選	● 可選購電動滑軌（圖一） ● 可選購1-9通道混氣系統(tǒng)（圖二） ● 100W-500W的射頻等離子源，與管式爐配合可搭建起等離子增強(qiáng)的加熱CVD系統(tǒng)（圖三）圖1 圖2 圖3 圖4
溫度校準(zhǔn)（可選）	● 定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準(zhǔn)套件包括： ● 48”L（1/4”O(jiān)D）K型熱電偶校準(zhǔn) ● 一Omega溫度校準(zhǔn)器 ● 熱電偶補(bǔ)償線 ● 你可以考慮分子泵，真空度可達(dá)10-5Torr
滑軌	● 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 ● 滑軌長度：1600mm ● 滑軌中包含兩個個固定裝置，用于固定爐子的位置
真空系統(tǒng)（可選）	●用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr ● 用分子泵真空度可達(dá) 10E-4 torr
尺寸	● 爐體：340mm L x 330mm W x 400mm H ● 整體：1600mm L x 430mm W x 500mm H
凈重	80Kg
使用注意事項	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）提示：最大的加熱和冷卻速度是通過將爐管的一側(cè)預(yù)熱到目標(biāo)溫度，然后將爐子滑到另一側(cè)來實(shí)現(xiàn)的。您可以選擇將樣品放置在預(yù)熱區(qū)域。
應(yīng)用提示	·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭。 ·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度，在使用前需要校準(zhǔn)溫度，請點(diǎn)擊這里了解如何使用。
認(rèn)證	所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
免責(zé)聲明	本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，科晶公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您見諒。

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