OTF-1200X-5S 1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐

應(yīng)用范圍： OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐，其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。

產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-5S

上架時(shí)間：2019-07-05

安裝尺寸：爐蓋關(guān)閉時(shí): 960mm(L) × 500mm(W) × 450mm(H)

爐蓋打開時(shí): 960mm(L) ×660mm(W) × 710mm(H)

控制盒尺寸：200mm(L)×300mm(W) × 360mm(H)

重量：48Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐，其最高工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。

性能指標(biāo)和基本配置
主要參數(shù)	● 最高工作溫度：1200℃（＜0.5小時(shí)） ● 連續(xù)工作溫度：1150℃ ● 建議加熱速率：10℃/min ● 功率：3KW ● 電壓：AC 220V 50Hz
爐體結(jié)構(gòu)	● 雙層殼體結(jié)構(gòu) ● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，保證溫度均勻性 ● 此款管式爐也可做為立式爐使用（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
加熱區(qū)	● 加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm ● 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：（參考值） ● 100 mm (+/-1oC ) ● 140 mm (+/-2oC ) 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考，不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系。
溫控系統(tǒng)	● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 帶有超溫和斷偶保護(hù) ● 可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金
爐管	● 石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mm（L） ● 配有2個(gè)氧化鋁管堵，使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性 ● 可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空
真空密封法蘭	● 配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 ● 右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵 ● 左端法蘭上安裝有機(jī)械壓力表，接口為1/4英寸卡套接頭，用于連接氣瓶 ● 真空度：10-2torr (采用機(jī)械泵) ● 可選：5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架 ● 水冷法蘭通入冷卻水后，設(shè)備最高溫度可以達(dá)到1100℃（＜1小時(shí)）
真空泵連接 &可選	● 您可能需要在真空端部安裝一個(gè)真空閥 ● 您可以訂購帶真空泵和溫度校準(zhǔn)套件的爐子。加入真空泵等可選模塊
真空壓力表	● 安裝有一機(jī)械壓力表，測(cè)量范圍為-0.1～0.15MPa ● 可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，測(cè)量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr
鎧裝熱電偶（可選）	● 可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測(cè)量樣品的實(shí)際溫度 ● 可選購一個(gè)法蘭支撐架，防止?fàn)t管轉(zhuǎn)動(dòng)
外形尺寸	● 爐蓋關(guān)閉時(shí): 960mm(L) × 500mm(W) × 450mm(H) ● 爐蓋打開時(shí): 960mm(L) ×660mm(W) × 710mm(H) ● 控制盒尺寸：200mm(L)×300mm(W) × 360mm(H)
凈重	48Kg
認(rèn)證	CE認(rèn)證（標(biāo)準(zhǔn)模塊不變）
質(zhì)保期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
應(yīng)用注意事項(xiàng)	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊并同時(shí)保護(hù)爐內(nèi)溫場(chǎng)。 ● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ ● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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OTF-1200X-5S 小型大口徑開啟式管式爐（英文版操作視頻）

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