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GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-III-F3LV

上架時間：2019-06-28

安裝尺寸：863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)

A^-A⁺

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GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	●采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ ●爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，最大程度減少能量損失 ●內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 ●三個溫區(qū)分別被三個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
功率	9 KW(需要75A的空氣開關(guān) )
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
加熱區(qū)	●總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm) ●加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，最高溫度可達(dá)1400℃ ●升溫速率: 10°C/min ●加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，最高溫度可達(dá)1700℃ ●最快升溫速率: 5°C/min ●加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，最高溫度可達(dá)1400℃ ●最大升溫速率: 10°C/min
爐管和法蘭尺寸	●99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube ●（標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L ●（選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1200mm L ●一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表 ●儀器中包括4個氧化鋁管堵
溫控系統(tǒng)	3個溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫
控溫精度	+/- 1℃
低真空系統(tǒng)	● 采用雙旋機(jī)械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達(dá)到 10-2 Torr. ● 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接
防腐型數(shù)字真空計(jì)	可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
三路浮子混氣系統(tǒng)	● 3個浮子流量計(jì)安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 ● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min ● 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ● 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥
尺寸	高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
質(zhì)量認(rèn)證	CE certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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