應(yīng)用范圍:GSL-1100X-XX-S是一款雙溫區(qū)的大口徑管式爐,爐管兩端安裝有鉸鏈?zhǔn)讲讳P鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應(yīng)用于在真空或氣氛保護環(huán)境下對材料進行燒結(jié)或退火等熱處理。溫控方面,設(shè)備可達到最高溫度為1100℃,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃。
產(chǎn)品型號:GSL-1100X-XX-S
上架時間 :2019-06-28
安裝尺寸:規(guī)格1:1880 L x 700W x 930 H mm
規(guī)格2:2180 L x 700W x 930 H mm
重量:約200 kg
GSL-1100X-XX-S是一款雙溫區(qū)的大口徑管式爐,爐管兩端安裝有鉸鏈?zhǔn)讲讳P鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應(yīng)用于在真空或氣氛保護環(huán)境下對材料進行燒結(jié)或退火等熱處理。溫控方面,設(shè)備可達到最高溫度為1100℃,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 名稱 |
1100℃單溫區(qū)大口徑管式爐(6,8.5,11英寸管徑)GSL-1100X-XX-S |
| 設(shè)備型號 |
GSL-1100X-6-S GSL-1100X-8.5-S GSL-1100X-11-S |
| 高純石英管尺寸 |
規(guī)格1:152 OD x 143 ID x 1320mm L 規(guī)格1:216 OD x 206 ID x 1320mm L 規(guī)格1:279 OD x 269 ID x 1320mm L 規(guī)格2:152 OD x 143 ID x 1020mm L 規(guī)格2:216 OD x 206 ID x 1020mm L 規(guī)格2:279 OD x 269 ID x 1020mm L |
| 石英舟(可選) |
最大可兼容4”直徑基片 最大可兼容6”直徑基片 最大可兼容8”直徑基片 ![]() ![]() |
| 基本參數(shù) |
● 熱偶:K型熱偶 ● 建議升溫速率:≤10℃/min ● 溫度:1000℃ (1100℃<1h) ● 電源:AC220,50Hz,最大8KW |
| 加熱區(qū) |
● 規(guī)格1:加熱區(qū)長度:600mm ● 規(guī)格2:加熱區(qū)長度:900mm |
| 爐體結(jié)構(gòu) |
● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請點擊) ● 設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵,設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(點擊圖片查看詳細資料) ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ● 該爐可作為退火或擴散爐,最大可用于8”晶片放在對應(yīng)石英舟中 ![]() |
| 加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
| 密封法蘭 |
● 采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr(參考值,詳情請點擊) ● 可選購一套溫度測試裝置(鎧裝熱偶、補償導(dǎo)線和溫度儀表),用于測試爐管內(nèi)部的溫度 ● 左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭 ● 右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭) |
| 溫控系統(tǒng) |
● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度:±1℃ ● 默認DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認證 ● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) ![]() |
| 溫度校準(zhǔn)(可選) |
● 定期對管式爐進行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準(zhǔn)套件包括 ● 48”L(1/4”O(jiān)D)K型熱電偶校準(zhǔn) ● 一Omega溫度校準(zhǔn)器 ● 熱電偶補償線 ● 你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr ![]() |
| 外形尺寸 |
規(guī)格1:1880 L x 700W x 930 H mm 規(guī)格2:2180 L x 700W x 930 H mm |
| 凈重 |
約200 kg |
| 質(zhì)保期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
| 真空系統(tǒng) |
● 多種真空系統(tǒng)可選 ● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 ![]() |
| 質(zhì)量認證 |
所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。![]() |
| 使用注意事項 |
● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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