應(yīng)用范圍:OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;觸屏式三路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。
產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-S25-II-SL
上架時(shí)間 :2019-07-02
安裝尺寸:600(L) x 600(W) x 700(H) mm
OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;觸屏式三路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | ||
|---|---|---|
| OTF-1200X-S25-II -SL管式爐 | 爐體結(jié)構(gòu) |
● 采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃ |
| 爐管尺寸 | Φ25×1000mm | |
| 功率 | 1.2kW | |
| 輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
| 加熱元件 | Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金) | |
| 最高溫度 | 最高1200℃額定溫度1100℃ | |
| 升溫速率 | ≦10℃/min(推薦) | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
● 兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是100mm |
|
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 快速連接法蘭 |
● KF25不銹鋼真空法蘭 |
|
| 真空系統(tǒng)(多種真空系統(tǒng)可選請(qǐng)點(diǎn)擊這里) | 殼體尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
| 最大承載量 | 1000 Lbs | |
| 抽氣速率 |
● 3L/S |
|
| 電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
| 功率 | 23W | |
| 應(yīng)用注意事項(xiàng) |
●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ ●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
|
| 質(zhì)量認(rèn)證 |
所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
|
| 保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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