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OTF-1200X-4-RTP-C3HV 高真空快速CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，可進行半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-4-RTP-C3HV

上架時間：2020-04-16

A^-A⁺

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高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，可進行半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

功能特點

雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風冷。
內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護和斷偶功能。
已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要。
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風裝置	需要
電源	單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW
石英管	外徑?110mm，內(nèi)徑?103mm，長380mm
加熱元件	8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈?10mm，燈長300mm
加熱區(qū)	300mm
工作溫度	最高溫度1100℃
控溫精度	±0.5℃
最高升溫速度	RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s
溫控儀	可控硅（SCR）PID自動控制
溫控儀	可控硅（SCR）PID自動控制
真空法蘭	不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr
真空度	10-2torr（機械泵），10-5torr（分子泵）
質(zhì)量流量計	3個，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS
混氣罐	?80mm×120mm
爐體尺寸	760mm×330mm×530mm
爐體重量	45kg
真空混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×597mm
真空混氣系統(tǒng)重量	75kg

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