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OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

應用范圍：高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″，最高溫度可達1200℃，極限真空可達 10-5 torr，混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進行精確的混合，然后導入管式爐內(nèi)部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

上架時間：2020-04-16

重量：100kg

A^-A⁺

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高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″，最高溫度可達1200℃，極限真空可達 10-5 torr，混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進行精確的混合，然后導入管式爐內(nèi)部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

功能特點

爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。
保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用壽命。
設有三個溫區(qū)，可獨立控溫，可設置50段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護。
供氣系統(tǒng)與真空機組置于移動架內(nèi)，方便移動。
真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start”鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動，待真空度達到 10-2mbar后分子泵自動啟動）。
根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
已通過CE認證。

技術參數(shù)
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風裝置	需要
管式爐	電源	AC 208V-240V單相 50Hz/60Hz 7KW
	爐管	高純石英管，外徑?100mm×內(nèi)徑?92mm×1400mm
	加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯
	加熱區(qū)	溫區(qū)I長220mm，溫區(qū)II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm
	恒溫區(qū)	500mm（三個溫區(qū)設為同一溫度時）
	工作溫度	最高1200℃，連續(xù)工作1100℃
	最大升溫速率	≤20℃/min
	控溫精度	±1℃
	熱電偶	3根K型熱電偶
高真空機組	輸入電源	AC110V或AC220V可切換 50Hz/60Hz
	消耗功率	110W
	殼體尺寸	600mm×600mm×700mm
	最大承重量	270kg
	抽氣速率	N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
	工作范圍	1000mbar-<10-7mbar
	極限真空度	10-5torr
	數(shù)字式真空顯示計	10-8mbar-103mbar
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)	質(zhì)量流量計	9通道精密質(zhì)量流量計
	流量計范圍	10scc-1000scc三個，20scc-200scc三個，30scc-10scc三個
	壓力表	3個，用來檢測混合氣體壓力
爐體尺寸	550mm×380mm×520mm
高真空機組尺寸	600mm×600mm×700mm
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×700mm
重量	100kg
真空配件	1	不銹鋼真空密封法蘭	2個
	2	精密針閥	2個
	3	1/4″軟管接頭	1個
	4	高溫硅膠O型密封圈（最高可承受300℃）	6個
	5	氧化鋁管堵	1套
	6	KF-40真空波紋管	1根
	7	KF-40快速卡箍	3個
	8	KF-25卡箍	2個
可選配件	防腐型數(shù)字式真空顯示計

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