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GSL-LCD 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號(hào) ：GSL-LCD

上架時(shí)間：2019-07-09

安裝尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

A^-A⁺

產(chǎn)品簡(jiǎn)述產(chǎn)品詳情產(chǎn)品視頻留言咨詢(xún)

GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

性能指標(biāo)和基本配置
功能	雙通道	三通道	四通道	五通道
質(zhì)子流量控制器	工作溫度：5~45oC ? 最大壓力:3x106 Pa ? 精度: ±1.5% FS ? 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度：5~45 oC 最大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度: 5~45 oC 最大壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度: 5~45 oC 最大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶(hù)要求定制
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	● 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上 ● RS485?通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
機(jī)械壓力表	● 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316?不銹鋼
通氣管道	● 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ● 外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	● 316不銹鋼針閥 ● Φ1/4”?不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
相關(guān)產(chǎn)品	CVD & PECVD?管式爐 ??? ?（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

暫無(wú)內(nèi)容

GSL-LCD 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)(控制面板為觸摸屏）（英文版操作視頻）

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