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GSL-3F 混氣系統(tǒng)3路浮子

應(yīng)用范圍：這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。產(chǎn)品型號(hào) ：GSL-3F

上架時(shí)間：2019-07-09

安裝尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

重量：約75 Kg

A^-A⁺

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這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。

性能指標(biāo)和基本配置
浮子流量計(jì)	● 三種不同量程的浮子流量計(jì)，控制精度4% ● A：10 - 100mL/min ● B：16 - 160mL/min ● C：25 - 250mL/min
機(jī)械壓力表（混氣罐）	-0.1-0.15 Mpa
接頭和氣管	● 在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個(gè)氣體進(jìn)口 ● 兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個(gè)通道氣體不通過(guò)氣體混合管（請(qǐng)參考說(shuō)明書(shū)，也可另行定制，詳情請(qǐng)咨詢銷售） ● 兩個(gè)出口（可連接科晶管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側(cè)（一路混合氣體和一路單獨(dú)的氣體） ● 12”長(zhǎng)1/4”直徑的聚四氟管及快插接頭
真空針閥	● 采用ss304不銹鋼 ● 安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)
安裝帶剎車的轉(zhuǎn)向輪	外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
凈重	約75 Kg
可選	CVD或者PECVD 液相氣體發(fā)生器
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

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