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GSL-1700X-4-C2HV 1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，最高工作溫度可達(dá)1600℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

產(chǎn)品型號(hào)：GSL-1700X-4-C2HV

上架時(shí)間：2020-04-20

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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，最高工作溫度可達(dá)1600℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

功能特點(diǎn)

雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。
采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。
采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。
已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺(tái)	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風(fēng)裝置	需要
管式爐	電源	單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW
	爐管	高純氧化鋁陶瓷管，外徑?100mm，內(nèi)徑?92mm，長(zhǎng)1000mm
	加熱元件	1800℃硅鉬棒8根
	加熱區(qū)域	457mm
	恒溫區(qū)域	150mm
	工作溫度	最高1650℃，連續(xù)工作1600℃
	最大升降溫速率	≤5℃/min
	控溫精度	±1℃
	熱電偶	B型
	不銹鋼真空法蘭	1對(duì)
	機(jī)械壓力表	1個(gè)
	針閥	2個(gè)
	連接器	KF-25，1個(gè)
	抽氣接口	KF-25轉(zhuǎn)KF-40
	卡套接頭	1/4″
高真空機(jī)組	電源	單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W
	真空泵	德國(guó)Pfeiffer真空泵
	顯示屏	LCD數(shù)字顯示
	抽氣速率	N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
	工作范圍	1000mtorr-10-7mtorr
	極限	10-8mtorr（無(wú)泄漏）
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)	電源	單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W
	功率	18W
	混氣箱	Φ80mm×120mm
管式爐尺寸	550mm×380mm×520mm
高真空機(jī)組尺寸	600mm×600mm×700mm
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×700mm

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