VTC-16-PW 小型粉末PVD包覆系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：VTC-16-PW是一款小型粉末包覆系統(tǒng)，主要有2英寸磁控濺射頭和振動(dòng)樣品臺(tái)組成。粉末在振動(dòng)樣品臺(tái)上振動(dòng)翻滾，通過(guò)濺射在粉末表面進(jìn)行包覆形成核殼結(jié)構(gòu)。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。

產(chǎn)品型號(hào) ：VTC-16-PW

上架時(shí)間：2019-08-19

重量：20 kg

A^-A⁺

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VTC-16-PW是一款小型粉末包覆系統(tǒng)，主要有2英寸磁控濺射頭和振動(dòng)樣品臺(tái)組成。粉末在振動(dòng)樣品臺(tái)上振動(dòng)翻滾，通過(guò)濺射在粉末表面進(jìn)行包覆形成核殼結(jié)構(gòu)。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。

性能指標(biāo)和基本配置
產(chǎn)品特點(diǎn)	● 可對(duì)粉體材料進(jìn)行表面包覆：采用磁控濺射，濺射時(shí)粉體材料在振動(dòng)樣品臺(tái)上翻滾，達(dá)到粉體表面均勻包覆 ● 設(shè)備小巧可在手套箱內(nèi)使用，可處理樣敏感性材料
輸入電壓	220 VAC 50/60Hz
電源輸出	● 1600 VDC /250 W ● 最大電流150 mA .
濺射頭&樣品臺(tái)	● 2英寸角度可調(diào)節(jié)濺射頭，帶有水冷夾層 ● 一個(gè)手動(dòng)操作擋板，用于保護(hù)靶材 ● 濺射頭與樣品臺(tái)距離可調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為60-100mm ● 設(shè)備中配有一循環(huán)水冷機(jī)（流量16L/min）,用于冷卻濺射頭
振動(dòng)樣品臺(tái)	● 振動(dòng)樣品臺(tái)安裝在真空腔體底部 ● 樣品臺(tái)振動(dòng)頻率可調(diào)節(jié)：6-33Hz ● 樣品臺(tái)直徑為50mm,粉末放置于樣品臺(tái)上，濺射時(shí)粉末振動(dòng)翻轉(zhuǎn)，對(duì)粉體表面進(jìn)行包覆 ● 建議樣品量: < 500 mg ● 建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um
真空腔體	石英腔體尺寸, 165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H
控制面板	6英寸控制面板，可顯示和設(shè)置所有參數(shù)，如真空和電流
真空度	● 一個(gè)KF25真空接口 ● 此系統(tǒng)需要Ar氣瓶（上面安裝減壓閥）（設(shè)備中不包含） ● 真空度： ①1.0E-2 Torr（采用機(jī)械泵），可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶 ② 1.0E-5 Torr（采用分子泵），可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶 ● 最大真空度可達(dá)到< 4.0E-6 Torr（分子泵系統(tǒng)抽時(shí)間12小時(shí)，腔體進(jìn)行烘烤）
靶材	● 設(shè)備中包含一2英寸Cu靶，靶材厚度2.5mm ● 此設(shè)備可濺射 Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg,等各種金屬靶材 ● 可選購(gòu)射頻等離子磁控濺射儀，用于濺射非導(dǎo)電靶材和碳靶
產(chǎn)品尺寸
凈重	20 kg
應(yīng)用注意	警告： ●濺射頭與高壓電源相連接，操作時(shí)必須佩帶防護(hù)手套 ●濺射前必須確保靶材，濺射頭，基片和樣品臺(tái)清潔，需要用砂紙和乙醇來(lái)清洗，Al或是Ni靶每次使用時(shí)都必須清洗和理 ●注意：粉末樣品必須干燥和分散
認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

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