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OTF-1200X-II-PE-RR 卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)，設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?；L(zhǎng)。

產(chǎn)品型號(hào) ：OTF-1200X-II-PE-RR

上架時(shí)間：2019-07-04

安裝尺寸：2400*600*1250mm

重量：260kg

A^-A⁺

產(chǎn)品簡(jiǎn)述產(chǎn)品詳情產(chǎn)品視頻留言咨詢

OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)，設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長(zhǎng) 。

性能指標(biāo)和基本配置
1200℃雙溫區(qū)管式爐	● 工作電源：AC220V，50/60Hz ● 功率：3KW ● 加熱元件：電阻絲 ● 最高溫度：1200℃ (使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變) ● 長(zhǎng)期使用溫度：1100℃ ● 推薦升溫速率:≤ 20℃ /min ● 爐管：高純石英管：φ80*1400mm ● 總加熱區(qū)長(zhǎng)度：400mm ● 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm ● PID控溫，具有超溫及斷偶保護(hù) ● 控溫精度：±1℃
500W等離子源	● 輸出功率：50-500W最大可調(diào)±1% ● RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% ● 噪聲：≤55DB ● 冷卻：風(fēng)冷 ● 輸入功率：1KW AC 220V
三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)	● 電壓：AC220V/50Hz ● 功率：23W ● PLC觸摸屏控制 ● 混氣罐尺寸：φ80*120mm ● 工作溫度：5~45 oC ● 最大壓力: 3x106 Pa ● 精度: ±1.5% FS ● 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. ● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. ● 流量范圍: ● 一路: 1~50 SCCM （甲烷標(biāo)定） ● 二路: 1~200 SCCM （氫氣標(biāo)定） ● 三路: 1~200 SCCM （氬氣標(biāo)定）氣體種類(lèi)標(biāo)定根據(jù)客戶要求可以進(jìn)行其它選擇
真空測(cè)量單元	● 型號(hào)：PGC-554-LD ● 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr 精度： ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 ● 100 … 950 mbar % of reading ±5 ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
低真空機(jī)組（標(biāo)配）	● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過(guò)濾器（PE材質(zhì)）、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成 ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s ● 極限真空度10-1Pa ● 真空計(jì)測(cè)量范圍10-1Pa-105 Pa
壓力恒定控制系統(tǒng)（選配）	壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)： ● 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進(jìn)氣量為500sccm） ● 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為300sccm） ● 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為100sccm） ● 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為50sccm）壓力恒定控制精度： ● 180mtorr-----2.5torr（±%10） ● ＞2.5torr-----10torr（±%40） ● ＞10 torr------200torr（±%5）
卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置	● 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)進(jìn)出料，銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào)； ● 配置一卷約5公斤重的銅箔，銅箔寬度：65mm，銅箔厚度0.025mm； ● 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi)，保證銅箔可在密封生長(zhǎng)條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備。 ● 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。
石英氣體噴嘴	可選配石英氣體噴嘴，將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開(kāi)通入，可有效減少副反應(yīng)發(fā)生，實(shí)現(xiàn)高端CVD工藝，如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝（ALC CVD）或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。
產(chǎn)品尺寸	24006001250mm
產(chǎn)品重量	260kg
質(zhì)量認(rèn)證	電器元件可選擇通過(guò)CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
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