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OTF-1200X-50S-PE 小型PECVD管式爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-50S-PE

上架時間：2019-07-03

安裝尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

重量：160 lbs

A^-A⁺

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OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。

性能指標(biāo)和基本配置
開啟式管式爐	● 輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW ● 最高工作溫度1200℃（小于1小時） ● 連續(xù)使用溫度1100℃ ● 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率 ● 高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL ● 可設(shè)置30段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護(hù) ● 加熱區(qū)長度為200mm 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系
等離子體射頻電源	● 輸出功率: 5 -500W可調(diào) ● 穩(wěn)定性為+/-1% ● 射頻電源頻率13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005% ● 最大反向功率: 200W max ● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極 ● 噪聲<50 dB. ● 冷卻方式：空氣冷卻 ● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法蘭和接頭	● 真空法蘭采用304不銹鋼制作 ● 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。 ● 右端法蘭設(shè)計為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個KF25卡箍 ● 儀器中所配的數(shù)字真空計，可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正，同時還具有防腐功能
真空泵	● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W ● 2L/s ● 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達(dá)到10-2 torr ● 進(jìn)氣端帶有儲氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）
產(chǎn)品尺寸和重量	外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 凈重: 160 lbs
可選配置	● 請點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng) ● 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng) ● 精密氣液混合系統(tǒng) ● 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)
混氣系統(tǒng)	● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 ● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. ● 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接，來監(jiān)測混合氣體的壓力
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計
應(yīng)用注意事項(xiàng)	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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