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OTF-1200X-4-III-9HV 1200°C三溫區(qū)九通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE認(rèn)證的九通道高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)，齊爐管直徑為4英寸，它是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成，其最高溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá)to 10^-5 torr，混氣系統(tǒng)可以對1-9種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-4-III-9HV

上架時(shí)間：2019-07-03

安裝尺寸：爐體: 550 x 380 x 520mm

質(zhì)量流量控制器: 600 x 600 x 700mm

高真空機(jī)組: 600 x 600 x 700mm

凈重: 100Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE認(rèn)證的九通道高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)，齊爐管直徑為4英寸，它是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成，其最高溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá)to 10^-5 torr，混氣系統(tǒng)可以對1-9種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

性能指標(biāo)和基本配置
管式爐	殼體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度小于60度。 ● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失。 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。 ● 三個(gè)溫區(qū)，可以獨(dú)立控溫。 ● 真空機(jī)組和氣體流量供氣系統(tǒng)位于移動加上，方便移動。
	加熱元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，使其延長加熱元件的壽命）
	最高工作溫度	1200°C
	連續(xù)工作溫度	1100°C
	最大升溫速率	≤20°C/min
	加熱區(qū)長度	● 總溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total) ● 溫區(qū) 1: 220 mm + 溫區(qū)2: 440 mm + 溫區(qū) 3: 220 mm
	爐管尺寸和材質(zhì)	材質(zhì)：高純石英管 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
	溫控系統(tǒng)	● 三個(gè)數(shù)字精密溫度控制器，可設(shè)置50段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以進(jìn)行獨(dú)立控溫。 ● PID調(diào)節(jié)與自動調(diào)整功能,確保溫度穩(wěn)定在+/ - 1 °C。 ● 帶有過熱和斷偶保護(hù)。
	熱電偶	3根K型熱電偶
	輸入電源	AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：7KW
	真空配件	標(biāo)準(zhǔn)的真空配件包括： ● 兩個(gè)不銹鋼真空密封法蘭與kf 25抽氣接口。 ● 兩個(gè)精密針閥和一個(gè)1/4“軟管接頭。 ● 6個(gè)高溫硅膠O型密封圈，最高可承受溫度300°C。 ● 為了防止熱量以熱輻射的形式散失，高溫?fù)p壞密封圈，爐子在加熱前必須放入氧化鋁管堵。 ● 一根KF-40 抽真空波紋管。 ● 三個(gè)KF-40 快速卸裝卡箍。 ● 2個(gè)KF-25 快速卸裝卡箍
高真空機(jī)組	結(jié)構(gòu)	● 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 最大承載量: 600 Lbs on top ● 分子泵顯示屏:LCD數(shù)字顯示內(nèi)裝有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany
	真空傳感器	● 真空傳感器有一個(gè)kf 25接口 ● 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
	控制面板	● 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動啟動） ● 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。
	抽氣速率	● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s
	工作范圍	1000 mbar to <1E-7 mbar
	極限	10^-5 torr (with tube furnace)
	輸入電源	110V AC or 220V AC可切換的, 50/60Hz
	消耗功率	持續(xù)時(shí)間/最大功率: 100/110Watt
MFC 質(zhì)量流量控制器	● 9通道精密質(zhì)量流量控制器，安裝在移動架上，并帶有數(shù)字顯示。 ● 3 MFC 范圍10 - 1000scc。 ● 3 MFC 范圍2 0 - 200scc。 ● 3 MFC范圍3 0 - 10 scc 三個(gè)壓力表分別安裝在底部移動架的質(zhì)量流量控制系統(tǒng)上，用來檢測混合氣體的壓力
運(yùn)輸信息	● 爐子尺寸: 550 x 380 x 520mm ● 質(zhì)量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm ● 高真空機(jī)組尺寸: 600 x 600 x 700mm
重量	凈重: 100Kg 運(yùn)輸重量: 350 lb (two pallets)
應(yīng)用注意事項(xiàng)	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	CE certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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